真空氮化爐系周期式作業爐，主要用于鋼制零件、工模具及測量工具等五金制品的滲氮、多元共滲、低溫奧氏體氮碳共滲、氧氮共滲、蒸汽氧化處理、低真空回火（或時效）等表面強化處理。
真空氮化爐的結構：
       大型真空氮化爐深度可達15米，直徑可達5米。大型真空氮化爐的外殼由鋼板及型鋼焊接而成，分多層多支撐方式，爐體具有高強度以支撐大型工件、重型工件氮化處理。
       爐襯由，高強度0.6g/cm3節約耐火微珠磚砌成，爐襯外層夾置高純陶瓷纖維，間置填充膨脹保溫粉。加熱元件由高溫電阻絲繞成螺旋狀，安裝在爐襯的擱磚上，在爐膛中安有不銹鋼真空罐。氮化爐爐口采用節約爐襯雙水冷爐罐蓋，真空橡膠密封。爐蓋上安裝有雙頭不銹鋼滴注器供滴注甲醇，操作簡便，安全性高。爐蓋上裝有取樣管、排氣管、爐罐側壁上部的輸入管可供氨氣輸入用，爐罐與爐蓋采用水冷真空橡膠密封，并裝有壓緊螺拴。氮化爐內廢氣通過排氣管排出爐外。
       我廠大型真空氮化爐采用多區控溫。使大型氮化爐無論從深度方向或直徑方向，保溫性、爐溫均勻性、密封性、滲氮速度都有很大提高，氮化爐內溫度氣氛均勻。
真空氮化爐的特點：
1、采用正壓、負壓、正負壓多種脈沖工藝，爐壓可定時定壓調控，滲層質量高，對有深孔、長軸、長管、微孔、盲孔、狹縫、夾板的零件，其內外壁均能獲得均勻層，是一項具有較高實用價值的科研成果。
2、比常規滲氮的滲層質量高、滲速快、周期短、省原料達30～。
3、配智能化溫控儀表和可PLD調節控制系統，更精確地控制爐內溫度和工藝參數。
4、配有真空換氣，正負壓自動控制系統，廢氣過水處理，無環境污染。
5、保留原有正壓滲氮爐的全部功能，是正壓滲氮爐升級換代產品。